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ロータリーカソード マグネットバー-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパンの対応状況

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9.6時間

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型番説明

強磁場

全型番で同じ値の指標

ネジ位置

約300mm毎

公称分布

±2%以下

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85%以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

  • 型番

    QRMバー

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ロータリーカソード マグネットバー QRMバーの性能表

商品画像 価格 (税抜) 構造 磁力 磁場調整ネジ ネジ位置 隣接ネジ許容高低差 最大使用可能ターゲット スパッタアングル 公称分布 公称ターゲット使用効率
ロータリーカソード マグネットバー-品番-QRMバー 要見積もり 4連 1,056ガウス at 外径150mm +2mm-7mm 約300mm毎 最大2mm 外径180mm ±21度 ±2%以下 85%以上

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県

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