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標準磁場
ネジ位置
約300mm毎
公称分布
±2%以下
型番
TRMバーシリーズ
ロータリーカソード マグネットバーカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 構造 | 磁力 | 磁場調整ネジ | ネジ位置 | 隣接ネジ許容高低差 | 最大使用可能ターゲット | スパッタアングル | 公称分布 | 公称ターゲット使用効率 |
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要見積もり | 3連 | 582ガウス at 外径150mm | ＋2mm－7mm | 約300mm毎 | 最大3mm | 外径160mm | ±12度 | ±2%以下 | 70％以上 |
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