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ロータリーカソード サイドマウント型 エンドブロック-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

CM | ロータリーカソード サイドマウント型 エンドブロック
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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型番説明

小型基板用 ターゲットフランジを付け替える事によって、内径80mmの小径ターゲットと内径125mmの標準内径ターゲットの両方を搭載可能。

対応ターゲット長さ

投入可能最大パワー

完全片持ち

全型番で同じ値の指標

専用モーター及び専用ベルト

含む

水平・垂直搭載

両方可能

マグネット角度

360度自由に調整可能

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

  • 型番

    CM

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ロータリーカソード サイドマウント型 エンドブロック CMの性能表

商品画像 価格 (税抜) 対応ターゲット長さ 投入可能最大パワー 完全片持ち 専用モーター及び専用ベルト 水平・垂直搭載 マグネット角度
ロータリーカソード サイドマウント型 エンドブロック-品番-CM 要見積もり 1,000mmまで 20kW at DC/ 80kHz at MFAC 750mmで45kg以下まで可能 含む 両方可能 360度自由に調整可能

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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  • 本社所在地: 千葉県

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