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半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ-日酸TANAKA株式会社

TORR-30-3W-A006-4UF4UF | 半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ
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構造

溶接接続

この製品について

■特徴

・TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 ・組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 ・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 ・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 ・電解研磨仕様品の製作も可能です。 (接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) ・TORR-30シリーズは一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただけます。 使用材質

■接ガス部

・本体：SUS316L ・ダイヤフラム：SUS316L ・フィルター：SUS316 ・圧力計：SUS316L ・継手：SUS316 (ネジ式接続) 、SUS316L (溶接接続) ・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂

■非接ガス部

・キャップ：C3771 ・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能

・入口側最高使用圧：5MPa ・出口側最高使用圧：1.0MPa ・最大流量：300L/min (nor () P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ・使用温度：-5~40°C ・重量：1.1kg ・内蔵フィルター濾過度：20μm ・出入口ポート口径：1/4" ・外部リーク量：1.3×10-9Pa・m3/sec以下 (ネジ式接続) 、1.3×10-10Pa・m3/sec以下 (溶接接続) ※他にも品番がございます。

  • 型番

    TORR-30-3W-A006-4UF4UF

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半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ TORR-30-3W-A006-4UF4UFの性能表

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会社概要

日酸TANAKA株式会社は、機器の開発・販売、溶接材料やガスの提供、設計・施工を主な事業内容としている企業です。 特に発振器搭載型レーザ切断機は業界トップの実績を誇っています。 1917年に創業し、酸素溶断器具の製作...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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