■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器 をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STVA10シリーズは負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを負圧供給するシリン ダーキャビネットで使用可能です。
・接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。
・タイドダイヤフラム式を採用しております。
・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリ ーズをご用意しています。

使用材質
■接ガス部・本体：SUS316L
・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVA10SH) 
・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVA10SH) 
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316L
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STVA10SH) 

■非接ガス部・キャップ：C3604
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

※他にも品番がございます。

型番
STVA10-3WE-15X03G-4UFUF-F

シリーズ
半導体用圧力調整器負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

この商品に関する問題を報告する

340人以上が見ています

最新の閲覧: 7分前

返答率: 100.0%

返答時間: 37.9時間

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

圧力調整器注目ランキング

圧力調整器の製品530点中、注目ランキング上位6点

優れた安全性 2段メタルダイヤフラム式精密圧力調整器

住友精化株式会社

1620人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

圧力調整装置

アイディア製作所

5.0 企業レビュー

940人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

中流量用圧力調整器 NT100B・NT100S

日酸TANAKA株式会社

790人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

容器圧力から減圧済み圧力まで幅広く使用可能 JET-S Ⅱ

日酸TANAKA株式会社

780人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

フローケミストリー用小型背圧弁

アイディア製作所

5.0 企業レビュー

740人以上が見ています

溶断器用調整器の定番マスターVIガード付 OG・OF・A

日酸TANAKA株式会社

730人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

圧力調整器注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

圧力調整装置

アイディア製作所

5.0 企業レビュー

940人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

返答時間: 20.29時間

フローケミストリー用小型背圧弁

アイディア製作所

5.0 企業レビュー

740人以上が見ています

返答時間: 20.29時間

圧力変動を最小に抑制 L.TEX9220シリーズ超高圧自動背圧弁

有限会社エルテックス

460人以上が見ています

最新の閲覧: 14時間前

返答時間: 4.20時間

人が行っていた操作の省力化が可能 L.TEX9210型全自動背圧弁圧力プログラム機能付き

有限会社エルテックス

400人以上が見ています

最新の閲覧: 9時間前

返答時間: 4.20時間

ガバナ昇圧防止装置 IHBシリーズ

I・T・O株式会社

5.0 企業レビュー

390人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

返答時間: 0.40時間

切替型漏えい検知装置発信機能付き検ちゃんシリーズ

I・T・O株式会社

5.0 企業レビュー

370人以上が見ています

返答時間: 0.40時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

半導体用圧力調整器負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ STVA10-3WE-15X03G-4UFUF-Fの性能表

商品画像	価格 (税抜)	ポート数	接ガス金属表面粗さ	圧力計有無	継手種類形状1	継手種類形状2	ガス別樹脂記号
	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	圧力計付	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス