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STV50-2WE-30X06F-6UF6UF-T | 半導体用圧力調整器 一次側低圧用中流量機種 S-TORRV50 / 50SHシリーズ
日酸TANAKA株式会社

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ポート数

二次側圧力計 (最高使用圧力)

圧力計有無

継手種類・形状1

継手種類・形状2

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接ガス金属表面粗さ

0.25μm

ガス別樹脂記号

樹脂材質PTFE

この製品について

■特徴

・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器 をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 ・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 ・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。 ・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 ・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 ・STV50シリーズは一次低圧用の中流量機種としてSTV30よりも流量が求められる低圧配管やアウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいております。 ・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリーズをご用意しています。 使用材質

■接ガス部

・本体：SUS316L ・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STV50SH) ・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STV50SH) ・圧力計：SUS316L ・継手：SUS316L ・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、 SUS316L、フッ素樹脂 (STV50SH)

■非接ガス部

・キャップ：C3604 ・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能

・入口側最高使用圧：1.5MPa ・出口側最高使用圧：0.6MPa ・最大流量：420L/min (nor () P1=0.7MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ・使用温度：-5~40°C ・重量：1.8kg (2ポート) 、2.0kg (3ポート) ・内蔵フィルター濾過度：10μm ・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm ・出入口ポート口径：3/8" ・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下 ※他にも品番がございます。

  • 型番

    STV50-2WE-30X06F-6UF6UF-T

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半導体用圧力調整器 一次側低圧用中流量機種 S-TORRV50 / 50SHシリーズ STV50-2WE-30X06F-6UF6UF-Tの性能表

商品画像 価格 (税抜) ポート数 接ガス金属表面粗さ 二次側圧力計 (最高使用圧力) 圧力計有無 継手種類・形状1 継手種類・形状2 ガス別樹脂記号
要見積もり 2ポート
(入口、出口のみ) 		0.25μm -0.1~0.3MPa (0.2MPa) 1/4"UJRメス 3/8" UJR継手 メス 3/8" UJR継手 メス 樹脂材質PTFE

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使用圧力範囲 MPa

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100

圧力計二次側 MPa

0 - 0.4 0.4 - 0.8 0.8 - 2

圧力計入口側 MPa

なし 4 25

圧力計出口側 MPa

0 0.2 0.4 1 1.6 2.5

使用温度範囲 ℃

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会社概要

日酸TANAKA株式会社は、機器の開発・販売、溶接材料やガスの提供、設計・施工を主な事業内容としている企業です。 特に発振器搭載型レーザ切断機は業界トップの実績を誇っています。 1917年に創業し、酸素溶断器具の製作...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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