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ブランク型エントリーハッチ KBH-70・114・152・203-北野精機株式会社

北野精機株式会社の対応状況

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許容リーク量

≦7.0×10^-9 (Pa・m3/sec)

許容加熱温度

≦150 (℃)

真空シール部

O-ring/バイトン (4種D)

有効内径

φ36 (mm)

ボルト穴径 (数)

φ6.4 (mm) ×6

接続フランジサイズ

ICF-70FH

材質

SUS304

この製品について

■特徴

・取り付けは、ICF規格ですので、お手持ちの装置にご利用できます ・ICF規格のフランジをOリング仕様の簡易ハッチへ変更できます ・ロードロック室等の試料導入が簡便に行えます ・覗き窓付き (KVH) とブランク型 (KBH) の2種類より選定できます

  • 型番

    KBH-70

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ブランク型エントリーハッチ KBH-70・114・152・203 KBH-70の性能表

商品画像 価格 (税抜) 許容リーク量 許容加熱温度 真空シール部 有効内径 ボルト穴径 (数) 接続フランジサイズ 材質
ブランク型エントリーハッチ KBH-70・114・152・203-品番-KBH-70 要見積もり ≦7.0×10^-9 (Pa・m3/sec) ≦150 (℃) O-ring/バイトン (4種D) φ36 (mm) φ6.4 (mm) ×6 ICF-70FH SUS304

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フランジ種類

KF NW CF VG VF ICF

材質

SUS304 SUS316L SUS304L

有効内径 mm

0 - 50 50 - 100

ボルト穴径 mm

0 - 5 5 - 10 10 - 15

PCD mm

0 - 30 30 - 60 60 - 90 90 - 120 120 - 150

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  • 本社所在地: 東京都

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