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■特長 ・流路に制御バルブを内蔵し、外部にシャットオフバルブを搭載。 ・より気密性が求められるアプリケーションに対応。 ・MCVSシリーズは腐食性ガスに対応します。
寸法 (流量レンジ 0.5SCCM)
F.S.流量時の圧力損失
接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM)
M5 (10-32) めねじ
型番
MCV/MCVSシリーズ (シャットオフバルブ搭載)シリーズ
マスフローコントローラー取扱企業
日本スターテクノ株式会社カテゴリ
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フローメーターの中でこの商品と同じ値をもつ製品
計測対象が気体用の製品
フローメーターをフィルターから探すことができます
使用用途
#ガス供給管理 #医薬品製造 #飲料製造 #化学工場 #空調設備 #自動車試験 #食品工場 #水処理設備 #石油精製 #農業灌漑 #発電設備 #半導体製造構造
可搬式 インライン式 バイパス式計測対象
液体用 気体用 混相用精度
高精度型 標準型 低精度型 2 3最大流量 L/min
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 800流量範囲 L/min
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000使用温度範囲 ℃
-300 - -1 -1 - 60 60 - 80 80 - 180 180 - 350 350 - 450耐圧力 MPa
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 110接続口径
1 1 1/4 1 1/2 2 4 8 10 15再現性 %F.S
0 - 1 1 - 3供給電源電圧 V
10 - 20 20 - 40
