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マスフローコントローラー-日本スターテクノ株式会社

MC/MCRシリーズ (標準タイプ) | マスフローコントローラー
日本スターテクノ株式会社

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型番説明

■特長 ・混合ガスを含め98種のガスに対応。 ・±0.6% RD (16.7～100% FS) の正確度で100msの制御応答。 ・積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。

寸法 (流量レンジ 0.5SCCM)

F.S.流量時の圧力損失

全型番で同じ値の指標

接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM)

M5 (10-32) めねじ

この製品について

特長

■安定した納期を実現

ALICATはアメリカのアリゾナに自社工場を構え、長年培った経験と知識により発展してまいりました。様々な用途に対応した機種の開発を行っており、多様なニーズに対応できます。近年では大幅な人員増強・生産設備の増加を行い、安定供給が可能となりました。

■さまざまな用途に対応

標準タイプのMC/MCRシリーズを筆頭にさまざまな環境に対応したマスフローコントローラーがラインナップ。

■多種多様なガスが計測可能

標準タイプは混合ガスを含め98種類のガスに対応します。また腐食性ガス／冷媒ガス対応タイプは標準のガス種を加え128種類のガスに対応します。

■100ミリ秒の速い制御応答

・ラミナーフロー方式 (差圧式) により高速応答を実現。 ・流量変化にすばやく追従し、リアルタイムに流量の確認ができます。

■200:1の幅広い流量レンジ ※MCS/MCRS/MCVSシリーズは100:1

・超微少流量の 0.5SCCM から大流量の 5000SLPM までラインナップ。 (※MC/MCR/MS/MCRS/MCD/MCRDシリーズ)

■マスフロー (質量流量) の他、圧力、温度も計測

・表示画面にはマスフローに加え、体積流量、圧力、温度も表示します。 ・また各データの表示単位も変更が可能です。その単位に換算した値が表示されます。

■バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載

バックライト付きのモノクロ液晶を標準搭載。バックライトはボタン操作で簡単にON/OFFが行えます。

■アナログ出力／RS-232C通信を標準搭載

・標準で0-5VDC出力を搭載。マスフローをアナログ出力します。 ・出力データはマスフローの他、体積流量、圧力、温度も可能。また、0-10VDC、1-5VDC、4-20mA出力もご指定できます。 ・RS-232C通信ではマスフロー、体積流量、圧力、温度、ガス種を出力します。

■積算流量が可能

・積算流量オプションをつけることにより積算流量表示が可能です。 ・電源投入後およびリセット後から流量の積算を開始します。

■配管

接続口径はNPT規格のめねじとなります。

■校正

校正はメーカーにて行います。通常20℃ 1atmで校正を行いますが、0℃ 1atmでの校正もご指定いただけます。

  • 型番

    MC/MCRシリーズ (標準タイプ)

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マスフローコントローラー MC/MCRシリーズ (標準タイプ) の性能表

商品画像 価格 (税抜) 寸法 (流量レンジ 0.5SCCM) 接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM) F.S.流量時の圧力損失
マスフローコントローラー-品番-MC/MCRシリーズ (標準タイプ) 要見積もり H98.98mm x W84.79mm x D26.67mm M5 (10-32) めねじ 6.89kPa (D)

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0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 800

流量範囲 L/min

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000

精度 %F.S.

2 - 3 3 - 6 6 - 10

使用温度範囲 ℃

-300 - -1 -1 - 60 60 - 80 80 - 180 180 - 350 350 - 450

耐圧力 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 110

接続口径

1 1 1/4 1 1/2 2 4 8 10 15

再現性 %F.S

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供給電源電圧 V

10 - 20 20 - 40

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会社概要

日本スターテクノ株式会社は、産業用電気機器の販売を主な事業としている企業です。 2002年にスター電子株式会社の計測機器国内販売部門として設立されており、東京都台東区にある本社のほかに大阪市中央区に大阪営業所を置いてい...

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