SM (大型基板用) | ロータリーカソードサイドマウント型エンドブロック
XQ Instruments

対応ターゲット長さ

投入可能最大パワー

完全片持ち

全型番で同じ値の指標

専用モーター及び専用ベルト

含む

水平・垂直搭載

両方可能

マグネット角度

360度自由に調整可能

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化"

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商品画像	価格 (税抜)	対応ターゲット長さ	投入可能最大パワー	完全片持ち	専用モーター及び専用ベルト	水平・垂直搭載	マグネット角度
	要見積もり	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	1,500mmで140kg以下まで可能	含む	両方可能	360度自由に調整可能

会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...