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ロータリーカソード ドロップイン型エンドブロック-XQ Instruments

SC (大型基板用) | ロータリーカソード ドロップイン型エンドブロック
XQ Instruments

エンドブロック幅

対応ターゲット長さ

投入可能最大パワー

アウトボードサポートブロック

マグネット角度

全型番で同じ値の指標

TTS調整

スペーサーを挟むことにより可能

専用モーター及び専用ベルト

含む

水平・垂直搭載

両方可能

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

  • 型番

    SC (大型基板用)

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ロータリーカソード ドロップイン型エンドブロック SC (大型基板用) の性能表

商品画像 価格 (税抜) エンドブロック幅 対応ターゲット長さ 投入可能最大パワー TTS調整 アウトボードサポートブロック 専用モーター及び専用ベルト 水平・垂直搭載 マグネット角度
ロータリーカソード ドロップイン型エンドブロック-品番-SC (大型基板用) 要見積もり 204mm 4,000mmまで 200kW at DC/ 80kHz at MFAC スペーサーを挟むことにより可能 含む 含む 両方可能 15度刻みで調整可能

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この商品の取り扱い会社情報

XQ Instruments

会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。 主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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