超純水の比抵抗を自動制御し、精密洗浄における静電気障害を解決。
MEGCONは膜を介し炭酸ガスを超純水に溶解させ、比抵抗を調整した機能水を作り出すことで、静電気発生を抑制。
　⇒下記のような製品不良を抑制
　　・回路破壊 (=静電破壊) 
　　・被洗浄物の表面荷電、微粒子の再付着

■特長　1.自動かつ豊富な制御方法
　　・流量変動時の自動比抵抗制御により、複数台のダイサー・洗浄機に接続可能。
　　・ダイサー・洗浄機までの距離に準じて3種類の制御方法を選択可能。

　2.効率的なガス供給
　　・流量に応じたガス量制御でガス消費量を最小化。
　　　(0.5MΩ・cm、9L/minの条件下でガス消費1.62g/ h)
　　・外部供給、内部ボンベのどちらでも対応可能
　　・膜方式でのガス溶解によって、微粒子混入リスク最小化

　3.豊富なラインナップ
　　・大流量タイプ(～8,000L/h)、小流量タイプ(30L/h～)をラインナップ
　　・欧州へ輸出可能なCEマーキングシリーズをラインアップ

　4.外部還流式中空糸膜の使用により超純水圧力損失を最小化

■接液部・セル (炭酸ガス導入部) :PP
・配管：ブレードホース(PVC)
・導電率センサー:Ti,PVC

■ユーティリティ・超純水 圧力:常用0.35MPa以下 (最大0.45MPa) /温度：5～35℃/水質:10MΩ・cm以上
・CO2ガス 圧力:0.1～0.2MPa/温度：5～35℃/純度：99.5%以上
・電源 AC100-240V (50/60Hz) 
・クリーンエアー (膜乾燥用) 
　PRCシリーズ エアーポンプ内蔵のため不要
　FRCシリーズ 0.1～0.2MPa/温度5～35℃/ミストレス・パーティクルレス

■標準付属品 ・取扱説明書
・検査成績書
・電源コード

■オプション下記以外にも多数選択可。
・レベラー付きキャスター＋ 2色灯(ブザー付)
・CO2圧力スイッチ（圧力低下検知用）
・CO2低下警報機能
・CO2ボンベ自動切替機能
・漏水センサー
・PFA/塩ビ配管
・SECS I/F
・外部エアー供給
・純水用逆止弁

■用途・ダイシング工程における洗浄
・高圧ジェット洗浄
・スクラバー洗浄
・液晶パネルの洗浄
・フォトマスクおよびレクチルの洗浄 など

■実績・OSAT
・洗浄機メーカー
・露光装置メーカー
　※合計約7,000件の販売実績あり。