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EXN3T-40A | コンポーネント電源 ターゲット切替器 EXN-Aシリーズ
三弘エマテック株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

30.2時間

企業レビュー

5.0

切替接点

切替方式

全型番で同じ値の指標

メーカー

(株) アルバック

ホットスイッチ

ホットスイッチは使用不可

使用周波数

DC-13.56MHz

定格通電電流

40A

接点間 50Hz

AC 10kV 1分間

接点 60Hz

AC 10kV 1分間

接点-GND間 50Hz

AC 10kV 1分間

接点-GND間 60Hz

AC 10kV 1分間

モータ定格電圧

DC24V

モータ定格電流

0.22A (最大0.75A)

接点位置出力

マイクロスイッチ (接点容量 0.25A 24VDC)

冷却方式

自然風冷 (ファンを使用しない冷却方式)

高周波接続用端子

O4mmボルト止め

設置場所温度

5℃~35℃

設置場所湿度

30%~80% (ただし結露無きこと)

この製品について

■製品説明

EXNシリーズは、ターゲット切替器として使用される装置で、複数の異なる用途に対する電力供給DCスパッタ用電極やRFスパッタ用電極なども含まれます。

■特徴

マッチングボックスの出力を切り替え可能：EXNシリーズは、マッチングボックスの出力を切り替えることができます。これは、異なるターゲットやアプリケーションに異なる電力を供給する必要がある場合に便利です。

■カソード別のマッチングボックスの設置不要

通常、異なるカソード (ターゲット) ごとに個別のマッチングボックスを設置する必要がありますが、EXNシリーズを使用することで、これらの個別の設置が不要になり、装置コストを削減できます。

■切替方式

EXNシリーズは、手動とモーター駆動の0つの切替方式を提供しています。これにより、操作の柔軟性が向上し、使用者の要求に合わせて選択できます。さらに、より大電力に対応した水冷方式も提供されています。 DC電源およびDCパルス電源の出力切替：EXNシリーズは、DC電源およびDCパルス電源の出力を切り替えるためにも使用できます。これは、異なる電源が必要な場合に便利です。マッチングボックスは1台：通常、異なるマッチングボックスが異なる負荷に合わせて必要ですが、EXNシリーズを使用することで、1台のマッチングボックスで複数の用途に対応できます。 ただし、整合範囲を超える負荷には使用できないことに注意してください。この装置は、異なる電極や電源への電力供給を効率的に切り替えるために使用され、装置のコスト削減や操作の簡素化に貢献します。

  • 型番

    EXN3T-40A

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月6日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、説明があった。

初回対応までの時間への満足度

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返答時間: 30.2時間

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コンポーネント電源 ターゲット切替器 EXN-Aシリーズ EXN3T-40Aの性能表

商品画像 価格 (税抜) メーカー 切替接点 ホットスイッチ 使用周波数 定格通電電流 接点間 50Hz 接点 60Hz 接点-GND間 50Hz 接点-GND間 60Hz 切替方式 モータ定格電圧 モータ定格電流 接点位置出力 冷却方式 高周波接続用端子 設置場所温度 設置場所湿度
要見積もり (株) アルバック 3点 ホットスイッチは使用不可 DC-13.56MHz 40A AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 手動式 DC24V 0.22A (最大0.75A) マイクロスイッチ (接点容量 0.25A 24VDC) 自然風冷 (ファンを使用しない冷却方式) O4mmボルト止め 5℃~35℃ 30%~80% (ただし結露無きこと)

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この商品の取り扱い会社情報

三弘エマテック株式会社

返答率

100.0%

返答時間

30.2時間

企業レビュー

5.0

会社概要

三弘エマテック株式会社は、1975年に設立された、真空機器、装置等の販売を行う企業です。

「真空技術」を軸とした、ポンプや分析機器、理化学機械を取り扱います。取り扱うメーカーは200社以上あり、顧客のニ...

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  • 本社所在地: 愛知県
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