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締結時にねじ穴底に溜まるガス除去のための軸方向の貫通穴 (ガス抜き穴) を持つガス穴付六角穴付製品です。穴付きボルト (キャップ) ・ボタンボルト・止めねじなど、様々な用途に合わせた製品があります。真空装置、真空容器、FPD製造装置、半導体製造装置などで用いられています。 締結時にねじ穴の先端に溜まったガスが減圧されると僅かずつねじ山の隙間を通って漏れ出て (バーチャルリーク) 、目標圧力になかなか下がらない、ポンプ停止後徐々に真空度が下がるといった問題を引き起こします。 気圧と体積の間には温度・質量が一定の場合に (気圧) × (体積) ＝ (一定) の関係 (ボイルの法則) が成り立ちます。大気圧 (約1,013hPa) から低真空 (100Pa程度) に減圧した場合、気体の体積は1,000倍となります。わずかなガスの滞留が大きな影響を及ぼすのはこのためです。耐食性に優れた軽量のチタン製品もあります。
型番
六角穴付 (ガス抜き穴付)シリーズ
六角穴付・その他穴付取扱企業
ボサード株式会社カテゴリ
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2025年3月25日にレビュー済み
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