2.45GHzマイクロ波電源 | プラズマ発生用電源・自動整合器マイクロ波製品
株式会社ダイヘン

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返答率

100.0%

返答時間

142.6時間

型番説明

■特徴・再現性の良い高精度出力で、安定した高密度プラズマの発生に貢献・1kWから3kWまでの幅広いラインナップ・整合器を含めたフル・サポートにも対応

全型番で同じ値の指標

定格出力

1/1.5kW/3kW

出力安定度

1/1.5kW:±0.5%以内 3kW:±1%以内

パルス周波数

1/1.5kW:100Hz - 2kHz (1レベル)

外形寸法幅 (W)

1/1.5kW:420mm 3kW:480mm

外形寸法高さ (H)

1/1.5kW:170mm 3kW:199mm

外形寸法奥行き (L)

1/1.5kW:530mm 3kW:580mm

周波数範囲

2460±30MHz

許容通過電力

3kW 連続波 (パワーリップル10%以下)

整合精度

1%以内 (電力比)

整合速度

2秒以内

冷却方式

水冷

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この製品について

パルス出力機能付マイクロ波電源

型番
2.45GHzマイクロ波電源

シリーズ
プラズマ発生用電源・自動整合器マイクロ波製品

取扱企業
株式会社ダイヘン

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プラズマ発生用電源・自動整合器マイクロ波製品 2.45GHzマイクロ波電源の性能表

商品画像	価格 (税抜)	定格出力	出力安定度	パルス周波数	外形寸法幅 (W)	外形寸法高さ (H)	外形寸法奥行き (L)
	要見積もり	1/1.5kW/3kW	1/1.5kW:±0.5%以内 3kW:±1%以内	1/1.5kW:100Hz - 2kHz (1レベル)	1/1.5kW:420mm 3kW:480mm	1/1.5kW:170mm 3kW:199mm	1/1.5kW:530mm 3kW:580mm

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