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■製品情報 ・英語化学式:Carbon dioxide ・分子式:CO2 ・CAS:124-38-9 ■用途 先進的な浸漬リソグラフィ、専用低温洗浄用途及びDI (脱イオン水) 処理をサポートするために使用することができる。工業上ではレーザー切断機のレーザーガスに広く応用され、科学研究では胚などの細胞培養、医薬実験室の超臨界抽出などに用いられている。 半導体産業におけるリソグラフィ工程に用いられる二酸化炭素レーザパルス、及び酸化、拡散、化学蒸着、イオンエッチング工程、ウエハ低温洗浄工程における。
型番
炭素ジオン (CO2)シリーズ
特殊ガス・希ガス取扱企業
CHEMFISH TOKYO株式会社商品画像 | 価格 (税抜) | カテゴリ | 英語化学式 | 分子式 | CAS | 仕様 |
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要見積もり | 高純度ガス | Carbon dioxide | CO2 | 124-38-9 | ≥99.99996% |
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