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■製品情報 ・英語化学式:Carbon monoxide ・分子式:CO ・CAS:630-08-0 ■用途 チップ、平板などの半導体プロセスに広く応用され、プラズマ支援蒸着キャビティの金属不純物パージガス、及び新世代の重要なイオンエッチングガスであり、多結晶シリコン炭化ケイ素エピタキシャル層の炭素源、一部の重要な医薬中間体と一酸化炭素レーザなどの高精鋭業界の重要な原料である。
型番
一酸化炭素 (CO)シリーズ
特殊ガス・希ガス取扱企業
CHEMFISH TOKYO株式会社商品画像 | 価格 (税抜) | カテゴリ | 英語化学式 | 分子式 | CAS | 仕様 |
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要見積もり | 高純度ガス | Carbon monoxide | CO | 630-08-0 | ≥99.997% |
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