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■製品情報 ・英語化学式:Argon ・分子式:Ar ・CAS:7440-37-1 ■用途 半導体産業において高純度シリコン及びゲルマニウム結晶を製造するための保護ガスとして用いられる。クロマトグラフィーキャリアガスとしても、鉄鋼、アルミニウム、チタン、ジルコニウムの製錬にも使用されています。 Arはプラズマ堆積とエッチングプロセスのための工場であり、深UVリソグラフィレーザにおける半導体チップの最小特徴であるパターン上、最も脆弱なチップ構造中の破片にも使用できる。照明技術や充填、日光照明管、照明管など、金属熱処理技術にも使用できます。
型番
アルゴン (Ar)シリーズ
特殊ガス・希ガス取扱企業
CHEMFISH TOKYO株式会社商品画像 | 価格 (税抜) | カテゴリ | 英語化学式 | 分子式 | CAS | 仕様 |
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要見積もり | 高純度ガス | Argon | Ar | 7440-37-1 | ≥99.9999% |
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