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アクティブ軸
Z
統合センサー
SGS、直接位置測定
ドライブの種類
PICMA®
Z単位の許容押し力
1,000 N
Z単位の許容引張力
50 N
許容トルク (θZ)
0.35 N·m
材料
ハウジング/チップ:ステンレススチール
使用温度範囲
-20~80 ℃
コネクタ
LEMO FFA.00.250
ケーブル長
1 m
推奨コントローラ/ドライバ
E-503, E-505, E-610, E-617, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-831
真空クラス
10^-6hPa
機械的インターフェース
球形チップ
型番
P-841.3BV取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z単位の移動範囲 | 統合センサー | Z単位のシステム解像度 | Z単位の分解能、オープンループ | ドライブの種類 | Z単位の電気容量 | Z単位の剛性 | 共振周波数 (Z) 、無負荷 | Z単位の許容押し力 | Z単位の許容引張力 | ケーブルなしの質量 | 材料 | 長さ | 機械的インターフェース | 使用温度範囲 | コネクタ | ケーブル長 | 推奨コントローラ/ドライバ | 真空クラス |
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![]() |
要見積もり | Z | 45 µm | SGS、直接位置測定 | 0.9 nm | 0.45 nm | PICMA® | 4.5 µF | 19 N/µm | 10 kHz | 1,000 N | 50 N | 46 g | ハウジング/チップ:ステンレススチール | 68 mm | 球形チップ | -20~80 ℃ | LEMO FFA.00.250 | 1 m | E-503, E-505, E-610, E-617, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-831 | 10^-6hPa |
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移動範囲 µm
0 - 10 10 - 100 100 - 200剛性 N/µm
0 - 1 1 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 1,000電気容量 nF
0 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000ブロッキング力 N
0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 4,000 4,000 - 6,000 6,000 - 10,000共振周波数 kHz
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000