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分解能 (オープンループ時) X、Y、Z
システム解像度 (X、Y、Z)
剛性 (X、Y、Z)
無負荷時共振周波数 (X,Y,Z)
共振周波数@200g (X,Y,Z)
電気容量 (X,Y,Z)
駆動軸
X、Y、Z
内蔵センサー
静電容量式、間接位置測定
移動範囲 (X、Y、Z)
100/100/10 μm
移動範囲 (-20~+120V) オープンループ時
115/115/12 μm
リニアリティエラー
0.03 %
再現性X、Y、Z
2 / 2 / 1 nm
クロストークθX,θY (X、Y、Z方向へ動作時)
±10/±10/±5 µrad
ドライブの種類
ピクマ®
共振周波数@120g (X,Y,Z)
340/340/1,060 Hz
プルフォース容量
20 N
プッシュ容量
50 N
動作温度範囲
-20~80 ℃
材料
アルミニウム
質量
675 g
ケーブル長
1.5 m
推奨コントローラ
E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727
センサーコネクタ
LEMO FFA.00.250.CTLC31
型番
P-733.3CD取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社| 商品画像 | 価格 (税抜) | 駆動軸 | 内蔵センサー | 移動範囲 (X、Y、Z) | 移動範囲 (-20~+120V) オープンループ時 | 分解能 (オープンループ時) X、Y、Z | リニアリティエラー | 再現性X、Y、Z | ピッチング (X、Y) | クロストークθX,θY (X、Y、Z方向へ動作時) | システム解像度 (X、Y、Z) | ドライブの種類 | 剛性 (X、Y、Z) | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 共振周波数@120g (X,Y,Z) | 共振周波数@200g (X,Y,Z) | プルフォース容量 | プッシュ容量 | 電気容量 (X,Y,Z) | 動作温度範囲 | 材料 | 質量 | ケーブル長 | コネクタ | 推奨コントローラ |
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要見積もり | X、Y、Z | 静電容量式、間接位置測定 | 100/100/10 μm | 115/115/12 μm | 0.2/0.2/0.1 nm | 0.03 % | 2 / 2 / 1 nm | ±3 µrad | ±10/±10/±5 µrad | 0.3/0.3/0.2 nm | ピクマ® | 1.4/1.4/9 N/μm | 460/460/1,400 Hz | 340/340/1,060 Hz | 295/295/650 Hz | 20 N | 50 N | 6/6/2.4 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 675 g | 1.5 m | D-Sub25W3 (m) | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727 |
