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駆動軸
X、Y、Z
内蔵センサー
SGS
移動範囲 (-20~+120V) オープンループ時
120/軸 µm
移動範囲 (クローズドループ時)
100/軸 µm
分解能 (オープンループ時)
0.2 nm
分解能 (クローズドループ時)
1 nm
リニアリティエラー
0.1 %
再現性
<10 nm
ピッチング (X、Y)
±5 µrad
振れθX (Z方向のモーション)
±10 µrad
ヨーイング (X)
±20 µrad
ヨーイング (Y)
±10 µrad
振れθY (Z方向のモーション)
±10 µrad
剛性
0.3 N/µm
無負荷時共振周波数 (X,Y,Z)
350 / 220 / 250 Hz
共振周波数@30g (X/Y/Z)
270 / 185 / 230 Hz
共振周波数@100g (X/Y/Z)
180 / 135 / 200 Hz
動作方向でのプッシュ/プルフォース
15 / 10 N
負荷容量
15 N
セラミックタイプ
PICMA P-885
静電容量
1.5 µF
動作温度範囲
-20~80 ℃
材料
アルミニウム、鋼鉄
質量
0.32 kg
ケーブル長さ
1.5 m
電圧接続部
D-Sub25 (m)
センサー接続
D-Sub25 (m)
推奨コントローラ
E-503, E-505, E-663, E-664, E727
型番
P611.3OF取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 駆動軸 | 移動範囲 (-20~+120V) オープンループ時 | 分解能 (オープンループ時) | ピッチング (X、Y) | 振れθX (Z方向のモーション) | ヨーイング (X) | ヨーイング (Y) | 振れθY (Z方向のモーション) | 剛性 | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 共振周波数@30g (X/Y/Z) | 共振周波数@100g (X/Y/Z) | 動作方向でのプッシュ/プルフォース | 負荷容量 | セラミックタイプ | 静電容量 | 動作温度範囲 | 材料 | 寸法 | 質量 | ケーブル長さ | 電圧接続部 | 推奨コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | X、Y、Z | 120/軸 µm | 0.2 nm | ±5 µrad | ±10 µrad | ±20 µrad | ±10 µrad | ±10 µrad | 0.3 N/µm | 350 / 220 / 250 Hz | 270 / 185 / 230 Hz | 180 / 135 / 200 Hz | 15 / 10 N | 15 N | PICMA P-885 | 1.5 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム、鋼鉄 |
Oバージョン 44mm × 44mm × 43.2mm OFバージョン 44mm × 50mm × 44.2mm |
0.32 kg | 1.5 m | D-Sub25 (m) | E-503, E-505, E-663, E-664, E727 |
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最大搭載質量 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000最大回転速度 rad/sec
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4繰り返し精度 mm
0 - 0.1 0.1 - 0.3 0.3 - 0.5最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,000質量 kg
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 10,000テーブル軸最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 500 500 - 1,000傾斜軸最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 4,000最大傾斜速度 rad/s
1 - 2 2 - 3
