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高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き P-517 • P-527 多軸ピエゾスキャナ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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内蔵センサー

静電容量

リニアリティエラー

0.03

負荷容量

5

動作温度範囲

-20~80

材料

アルミニウム

質量

1.4

推奨コントローラ

E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727

この製品について

高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き

■特徴

・2軸および3軸バージョン (XYおよびXYθZ) ・移動範囲 200 μm まで ・サブナノメートルの分解能 概要

■応用分野

計測/干渉計/フォトニクス/集積光学/リトグラフ/ナノポジショニング/走査型顕微鏡/サンプルアライメント/マイクロマシニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供します。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■自動構成と高速コンポーネント交換

メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。

■並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度

すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。軸間の望ましくないクロストークは、リアルタイムでアクティブに補正 (アクティブガイド) できます (帯域幅によって異なります) 。動的動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。

  • 型番

    P-517.3CL

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高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き P-517 • P-527 多軸ピエゾスキャナ P-517.3CLの性能表

商品画像 価格 (税抜) 駆動軸 内蔵センサー 移動範囲 (-20~120V) オープンループ時 移動範囲 (クローズドループ時) 分解能 (オープンループ時) 分解能 (クローズドループ時) リニアリティエラー 再現性 剛性 無負荷時共振周波数 共振周波数@500g (X,Y) 共振周波数@2500g (X,Y) 負荷容量 ピエゾセラミック 静電容量 動作温度範囲 材料 質量 センサー/ボルト接続 推奨コントローラ
高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き P-517 • P-527 多軸ピエゾスキャナ-品番-P-517.3CL 要見積もり X、Y、Z 静電容量 X,Y:130 μm
Z:25 μm
X,Y:100 μm
Z: 20
X, Y: 0.3 nm
Z: 0.1 nm
X, Y: 1 nm
Z: 0.1 nm
0.03 X, Y: ±5 nm
Z: ±1 nm
X、Y:2
Z: 15
X、Y:450
Z: 1100
250 140 5 PICMAPICMA
P-885
X,Y:9
Z: 6
-20~80 アルミニウム 1.4 CLバージョン:LEMO
CDバージョン:D-sub 25W3 (m)
E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727

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最大搭載質量 kg

0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000

最大回転速度 rad/sec

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4

繰り返し精度 mm

0 - 0.1 0.1 - 0.3 0.3 - 0.5

最大許容偏負荷モーメント N・m

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,000

質量 kg

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 10,000

テーブル軸最大許容偏負荷モーメント N・m

0 - 500 500 - 1,000

傾斜軸最大許容偏負荷モーメント N・m

0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 4,000

最大傾斜速度 rad/s

1 - 2 2 - 3

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23.6時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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