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返答率
100.0%
返答時間
22.3時間
駆動軸数
9
粗雑測位 アクティブ軸
X, Y, Z, ΘX, θY, θZ
粗雑測位 X、Y、Z方向移動範囲
±6.5, ±16, ±8.5 mm
粗雑測位 移動範囲 (θ) X, θY, θZ
±14.5, ±10, ±10°
粗雑測位 標準最小インクリメンタルモーション
0.1 µm
粗雑測位 最大速度
10 mm/s
粗雑測位 センサータイプ
ロータリーエンコーダ
粗雑測位 ドライブの種類
ブラシレスDCモーター
精密測位 アクティブ軸
X, Y, Z, ΘX, θY, θZ
精密測位 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時)
100 µm
精密測位 最小インクリメンタルモーション オープンループ
0.3 nm
精密測位 最小インクリメンタルモーション クローズドループ
2.5 nm
精密測位 標準直線性誤差 (移動範囲全体)
2 %
精密測位 標準繰り返し性 (双方向)
2 nm
精密測位 センサータイプ
インクリメンタル
精密測位 ドライブタイプ
PICMAピクマ®
スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 500 μm Ø
<2s
スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 100 μm Ø
<0.3s
スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 10 μm Ø
<0.2s
スキャン時間グラジエントスキャン±5 μmでランダム化
<0.3s
動作温度範囲 メカニクス
0~50 ℃
動作温度範囲 コントローラー
5~40 ℃
ケーブル長さ
2 m
出力信号
アナログ出力、理想的には線形から対数に変換
出力電圧範囲 (最大)
-5~5V
帯域幅 最小
1kHz
騒音レベル 最大
-60dBm
型番
F-712.HA1取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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アライメントテスタの製品31点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 駆動軸数 | 粗雑測位 アクティブ軸 | 粗雑測位 X、Y、Z方向移動範囲 | 粗雑測位 移動範囲 (θ) X, θY, θZ | 粗雑測位 標準最小インクリメンタルモーション | 粗雑測位 最大速度 | 粗雑測位 センサータイプ | 粗雑測位 ドライブの種類 | 精密測位 アクティブ軸 | 精密測位 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時) | 精密測位 最小インクリメンタルモーション オープンループ | 精密測位 最小インクリメンタルモーション クローズドループ | 精密測位 標準直線性誤差 (移動範囲全体) | 精密測位 標準繰り返し性 (双方向) | 精密測位 センサータイプ | 精密測位 ドライブタイプ | スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 500 μm Ø | スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 100 μm Ø | スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 10 μm Ø | スキャン時間グラジエントスキャン±5 μmでランダム化 | 動作温度範囲 メカニクス | 動作温度範囲 コントローラー | ケーブル長さ | 出力信号 | 出力電圧範囲 (最大) | 帯域幅 最小 | 騒音レベル 最大 |
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要見積もり | 9 | X, Y, Z, ΘX, θY, θZ | ±6.5, ±16, ±8.5 mm | ±14.5, ±10, ±10° | 0.1 µm | 10 mm/s | ロータリーエンコーダ | ブラシレスDCモーター | X, Y, Z, ΘX, θY, θZ | 100 µm | 0.3 nm | 2.5 nm | 2 % | 2 nm | インクリメンタル | PICMAピクマ® | <2s | <0.3s | <0.2s | <0.3s | 0~50 ℃ | 5~40 ℃ | 2 m | アナログ出力、理想的には線形から対数に変換 | -5~5V | 1kHz | -60dBm |
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