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アクティブ軸
X
X、オープンループ、-20〜120Vの移動範囲 (µm)
120
平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (nm)
10
ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad)
±5
ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad)
±20
Xでの再現性 (nm)
10
X単位の分解能、開ループ (nm)
0.2
ドライブの種類
ピクマ®
X単位の電気容量 (μF)
1.5
ガイド
レバー増幅付き曲げガイド
Xの剛性 (N/μm)
0.2
Xの共振周波数、無負荷 (Hz)
400
Xの共振周波数、30gの負荷下 (Hz)
300
Xの共振周波数、100gの負荷下 (Hz)
195
Xでの許容プッシュ力 (N)
15
Z単位の許容押し力 (N)
15
Xでの許容引っ張り力 (N)
10
全体の質量 (g)
135
材料
アルミニウム、スチール
使用温度範囲 (℃)
-20から80
ケーブル長 (m)
1.5
X単位の移動範囲 (µm)
100
Xの直線性誤差 (%)
0.1
統合センサー
SGS、間接位置測定
Xでのシステム解像度 (nm)
2
センサーコネクタ
レモFFA.0S.304.CLAC32
型番
P-611.1S取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X、オープンループ、-20〜120Vの移動範囲 (µm) | 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (nm) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) | ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) | X単位の移動範囲 (µm) | Xの直線性誤差 (%) | Xでの再現性 (nm) | X単位の分解能、開ループ (nm) | 統合センサー | Xでのシステム解像度 (nm) | ドライブの種類 | X単位の電気容量 (μF) | ガイド | Xの剛性 (N/μm) | Xの共振周波数、無負荷 (Hz) | Xの共振周波数、30gの負荷下 (Hz) | Xの共振周波数、100gの負荷下 (Hz) | Xでの許容プッシュ力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) | Xでの許容引っ張り力 (N) | 全体の質量 (g) | 材料 | 使用温度範囲 (℃) | コネクタ | ケーブル長 (m) | 推奨コントローラ/ドライバ | センサーコネクタ |
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要見積もり | X | 120 | 10 | ±5 | ±20 | 100 | 0.1 | 10 | 0.2 | SGS、間接位置測定 | 2 | ピクマ® | 1.5 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.2 | 400 | 300 | 195 | 15 | 15 | 10 | 135 | アルミニウム、スチール | -20から80 | レモFFS.00.250.CTCE25 | 1.5 | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-665,E-837 | レモFFA.0S.304.CLAC32 |
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最大搭載質量 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000最大回転速度 rad/sec
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4繰り返し精度 mm
0 - 0.1 0.1 - 0.3 0.3 - 0.5最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,000質量 kg
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 10,000テーブル軸最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 500 500 - 1,000傾斜軸最大許容偏負荷モーメント N・m
0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 4,000最大傾斜速度 rad/s
1 - 2 2 - 3