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半自動フェイスアップ式めっき装置(筐体ありタイプ) 高い面内膜厚均一性と、効率の良い作業性により、研究開発のみならず、製品の少量生産にも適しています。 ■特長 - パドル撹拌と高い位置精度により優れた膜厚均一性を実現(オプションの補助電極使用時 ±2%) - 治具へのウエハの着脱を必要とせず、ウエハステージに置くだけでセットが完了 - 槽への給液→めっき→排液→槽下での一次水洗までを自動化
ウエハサイズ
パネルサイズ
型番
TEAM-FU : Semi-Automated Face-Up Plating Tool取扱企業
株式会社東設カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | ウエハサイズ | パネルサイズ | 方式 | めっき材料 |
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要見積もり | Max. 300mm | N/A | フェイスアップ式 | 磁性膜, Cu, Ni, Au 他 |
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