オングストロームテクノロジー株式会社

■特徴 ・ストローク : 15μm ・最大発生力 : 850N ・歪みゲージセンサ内蔵 ・ピエゾとコントローラのペア管理不必要

• 駆動機構・部品

• アクチュエータ

■特徴 ・ストローク : 45μm ・最大発生力 : 4,000N ・制御方法 : オープン・クローズ制御 ・指令電圧 : -10～+10V，0 ~ +10V, 0 ~ 5V等 ...

• 駆動機構・部品

• アクチュエータ

■特徴 ・荷重フィードバック制御 ・最大発生力 : 12N ・分解能 : 1mN ・応答性 : 30msec程度 ・用途 : チップマウンター、プローブ制御...

• ステージ

• ピエゾステージ

■特徴 ・クローズドループ制御 ・分解能 10nm (10umピエゾ) ・アナログ入力、UBコントロール ・光干渉計位相シフトに最適