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段差測定

ユニオン光学の高さ測定器

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ユニオン光学株式会社

高精度非接触段差測定機 HISOMET Ⅱ

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■測定原理 本装置は、顕微鏡の反射照明光学系に、精密焦点合わせ機構としてターゲットマークおよびスプリットプリズムを組み込み、正し...


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