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クアーズテック合同会社
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成膜装置用ヒーターには、高純度および耐プラズマ性とともに、ウェーハ全体に均一な熱分布が求められます。クアーズテックのヒーターは...
クアーズテック合同会社
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■用途 各種プロセスにおける急速・クリーン・部分加熱 ■材料 石英ガラス・カーボンワイヤー ■機能・特徴 ・急速昇温 (加熱時間の短縮)...