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クアーズテックのヒーター

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クアーズテック合同会社

Quartz Carbon Heaters QCH-HEATER®

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■用途 各種プロセスにおける急速・クリーン・部分加熱 ■材料 石英ガラス・カーボンワイヤー ■機能・特徴 ・急速昇温 (加熱時間の短縮)...


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クアーズテック合同会社

ヒーターと加熱部品

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■クアーズテックは、以下のようなさまざまな半導体グレードのセラミックヒーターと部品を組み立てています ・窒化アルミニウム (AlN) ヒ...


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クアーズテック合同会社

ヒータープレート

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成膜装置用ヒーターには、高純度および耐プラズマ性とともに、ウェーハ全体に均一な熱分布が求められます。クアーズテックのヒーターは...


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