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石英ボートのメーカー10社一覧や企業ランキングを掲載中！石英ボート関連企業の2025年11月注目ランキングは1位:株式会社カワタ石英硝子、2位:フルテック株式会社、3位:株式会社セミコンクオーツです。
監修:株式会社カワタ石英硝子
石英ボートとは、石英ガラスで製造された半導体プロセス用のウエハー保持具です。シリコンウエハーを高温処理や薬液処理の工程で安定して保持・搬送するために用いられ、半導体製造には欠かせない存在です。
一般的なガラスに比べ軟化点が約1,700℃と高く、熱膨張係数が小さいため、高温でも変形が起こりにくいのが特徴です。加えて、薬品に対して高い耐性を持ち、透明性や耐摩耗性にも優れています。このため、石英ボートは過酷な温度条件や化学環境下でも長期間安定して使用できます。
半導体製造用の石英ボートにはウエハー保持用の溝があり、形状は縦型と横型に分かれます。小口径ウエハーには横型、大口径ウエハーには縦型が多く用いられますが、現在は縦型炉が主流です。縦型炉は温度分布の均一性に優れ、膜厚のばらつきや反り・欠陥を抑制できるほか、省スペースで自動化にも適しており、現代の製造現場に適した方式です。
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2025年11月の注目ランキングベスト7
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社カワタ石英硝子 |
37.5%
|
| 2 | フルテック株式会社 |
18.8%
|
| 3 | 株式会社セミコンクオーツ |
12.5%
|
| 4 | 株式会社MARUWA |
12.5%
|
| 5 | ヒメジ理化株式会社 |
6.3%
|
| 6 | USTRON株式会社 |
6.3%
|
| 7 | 株式会社旭製作所 |
6.3%
|
監修:株式会社カワタ石英硝子
石英ボートとは、石英ガラスで製造された半導体プロセス用のウエハー保持具です。シリコンウエハーを高温処理や薬液処理の工程で安定して保持・搬送するために用いられ、半導体製造には欠かせない存在です。
一般的なガラスに比べ軟化点が約1,700℃と高く、熱膨張係数が小さいため、高温でも変形が起こりにくいのが特徴です。加えて、薬品に対して高い耐性を持ち、透明性や耐摩耗性にも優れています。このため、石英ボートは過酷な温度条件や化学環境下でも長期間安定して使用できます。
半導体製造用の石英ボートにはウエハー保持用の溝があり、形状は縦型と横型に分かれます。小口径ウエハーには横型、大口径ウエハーには縦型が多く用いられますが、現在は縦型炉が主流です。縦型炉は温度分布の均一性に優れ、膜厚のばらつきや反り・欠陥を抑制できるほか、省スペースで自動化にも適しており、現代の製造現場に適した方式です。
石英ボートの主な使用用途は下記のようなものです。
拡散・酸化・アニールなどの熱処理、CVDや蒸着の成膜工程、エッチングで使用されます。拡散で不純物を導入、酸化で絶縁膜を形成、アニールで結晶欠陥を修復する工程を、高温で安定的に行うための容器として重要です。
加熱・燃焼・焼結などに利用されます。常用900℃、最大1,100℃まで耐え、多様な化学反応に対応可能ですが、フッ酸やアルカリ溶液には注意が必要です。
乾燥や蒸発を伴う試験で試料を安定保持し、測定精度を維持します。水銀分析や新素材の特性評価にも用いられます。
シリコン基板やセル、LEDや光電子デバイスの高温処理で支持具として使用され、品質安定化に寄与します。
加熱実験や酸化・還元処理、燃焼分解など幅広い実験で活用されます。
石英ボートの焼き仕上げ工程
本記事は石英ボートを製造・販売する株式会社カワタ石英硝子に監修を頂きました。
株式会社カワタ石英硝子の会社概要はこちら
