制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
石英ボートのメーカー11社一覧や企業ランキングを掲載中！石英ボート関連企業の2025年5月注目ランキングは1位:株式会社旭製作所、2位:株式会社セミコンクオーツ、3位:株式会社カワタ石英硝子となっています。 石英ボートの概要、用途、原理もチェック！
石英ボートとは、石英ガラスで製造されたボート型の容器です。
石英ガラスは、一般的なガラスに比べて高温への優れた耐性を持ちます。これは、軟化点が約1,700℃と非常に高く、熱膨張係数も小さいためです。広い温度帯で強度を保つことができ、変形を起こしにくい材質です。また、化学的にも各種薬品に対して安定性が高く、耐摩耗性、透明性にも優れています。そのため、石英ボートは試料や製品材料を入れて、高温の炉で処理する用途で用いられることが多いです。
特に、半導体製造用の石英ボートはウエハを保持する溝が設けられており、縦型、横型などの形状の種類があります。一般的に小径のウエハに用いられる石英ボートは横型が多く、口径の大きいウエハーでは縦型が多く使われています。
2025年5月の注目ランキングベスト9
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社旭製作所 |
18.2%
|
| 2 | 株式会社セミコンクオーツ |
18.2%
|
| 3 | 株式会社カワタ石英硝子 |
9.1%
|
| 4 | ヒメジ理化株式会社 |
9.1%
|
| 5 | フルテック株式会社 |
9.1%
|
| 6 | USTRON株式会社 |
9.1%
|
| 7 | 株式会社ワコム製作所 |
9.1%
|
| 8 | 株式会社タイセー |
9.1%
|
| 9 | 株式会社MARUWA |
9.1%
|
石英ボートとは、石英ガラスで製造されたボート型の容器です。
石英ガラスは、一般的なガラスに比べて高温への優れた耐性を持ちます。これは、軟化点が約1,700℃と非常に高く、熱膨張係数も小さいためです。広い温度帯で強度を保つことができ、変形を起こしにくい材質です。また、化学的にも各種薬品に対して安定性が高く、耐摩耗性、透明性にも優れています。そのため、石英ボートは試料や製品材料を入れて、高温の炉で処理する用途で用いられることが多いです。
特に、半導体製造用の石英ボートはウエハを保持する溝が設けられており、縦型、横型などの形状の種類があります。一般的に小径のウエハに用いられる石英ボートは横型が多く、口径の大きいウエハーでは縦型が多く使われています。
石英ボートが使用される主な分野は、半導体・液晶製造装置関連や、理化学実験・試験分析です。
半導体製造分野では、石英ボートは蒸着プロセスやエッチングプロセスで利用されています。
蒸着プロセスとは、ウェハの表面にCVDなどの方法で酸化膜などの薄膜を形成し、電気的な特性を持たせるプロセスです。一般的には1,000℃付近の高温の電気炉で処理を行いますが、蒸着を行うウエハの保持容器として耐熱性の高い石英ボートが利用されます。また、エッチングプロセスでは薬液や反応ガスなど腐食性反応剤が利用されますが、このような薬品へ耐性のある容器として石英ボートが適しています。
石英ボートは、理化学実験の分野で加熱や燃焼実験、焼結などに利用されています。
優れた耐熱性と耐薬品性を生かして、種々の化学反応や化学処理に対して容器として利用することが可能です。多くの薬品や溶剤に対して耐性がありますが、アルカリ溶液やフッ酸、300℃以上のリン酸には侵される可能性があるため注意が必要です。最高使用温度は約1,100℃、常時使用温度は約900℃まで耐えることができ、高温での合成反応にも利用することができます。その他、実験系を応用した化学工業プロセスや、薬品処理や洗浄工程でも利用することが可能です。
石英ボートは、分析化学における各種の試験・分析において試料を保持する用途でも利用されています。特に、蒸発や乾燥プロセスなど、加熱を伴うプロセスにおいて石英ボートは正確な分析結果を得るのに有用です。高温などの試験条件によって溶融したり侵食されたりすることがないため、試験結果に影響を与えることなく、試料を安定して保持することができます。
具体的な事例としては、魚に含まれる水銀の微量分析における試料の燃焼分解、新規開発材料や既存材料の特性評価などが挙げられます。
