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シンフォニアテクノロジーの基板搬送装置

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10 点の製品

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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Back-End Process Panel FOUP対応ロードポート

最新の閲覧: 1日前

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■特長 ・大型基板次世代実装技術 (FOPLP) をサポート ・高精度マッピング機能付き ・前工程での高い信頼性と豊富な実績 ・パーティクル...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Back-End Process Tape Frame FOUP対応ロードポート

最新の閲覧: 4時間前

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■摘要 ・後工程での歩留まり向上をサポート ・パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など半導体製造装置に要求されるスペックに...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Back-End Process Tape Frame Wafer EFEM

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■摘要 3次元集積化 (Tape Frameを用いた半導体製造工程) に対応したEFEMソリューション。 ■特長 ・高い信頼性と豊富な実績:300mmEFEM...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 300mm FOUP対応ロードポート SELOP-8

最新の閲覧: 4時間前

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■摘要 半導体製造のさらなる微細化 (1xnm) をサポートする次世代モデル ■独自機構の採用でよりスムーズなFOUPドア開閉を実現。 エアー/...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8

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最新の閲覧: 6時間前

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■摘要 ウェーハサイズの混在ラインに最適 ■300mm FOUPと200mmオープンカセットアダプタを載せ替えるだけで使用可能 ・キャリア自動識別...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 200mm SMIFロードポート

最新の閲覧: 48分前

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■摘要 300mm BOLTS-M取付に完全互換、自動化をサポート ■200mm生産ラインの自動化で 高い生産効率を実現 ・SMIF自動搬送に対応 ・SEMI ...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 300mm N2 EFEM

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最新の閲覧: 6時間前

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■摘要 EFEM内のOx/H2Oをコントロールし、最先端半導体製造プロセスのニーズに応える ■大気からN2へ高効率な置換を実現 ・高効率な低酸...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 300mm EFEM

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最新の閲覧: 6時間前

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■より高度に、より高効率に半導体テクノロジーをサポート。 ・非吸着/吸着ウェーハハンドリング (クリーンクラス1) ※ウェーハ裏面パーテ...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 300mmソーター

最新の閲覧: 1時間前

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■高効率で安定した半導体ウェーハの移載サポート ・高信頼性、出荷実績No.1のロードポートSELOPシリーズを搭載:N2パージ仕様ロードポー...


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シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 基板自動搬送装置 EFEM

最新の閲覧: 5時間前

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■新型搬送ユニット登場 ・6/8インチ基板対応 ・カセット〜プロセス処理室間での基板セット&基板輸送の自動化により、省力化を実現 ・高...


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