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ヒューグルエレクトロニクス株式会社
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長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、顧客の立場に立って開発されたHS-1840ウェハ拡張装置。モーター駆動ステージを採用し、使い易さ、精度、...
ヒューグルエレクトロニクス株式会社
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グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置です。ステージ内蔵のカッター機構で、テープスカート部を極力短くし、その後のハンドリングを容...