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ED-Scopeは、光学ガラスの素板や薄膜、ウエハなどの表面欠陥や内部欠陥を可視化するための装置です。通常、目視で検査を行う工程では作業者の能力による誤差...
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
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FPD用マクロ検査装置です。光学光線とステージ操作でムラを検出することを可能にします。