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昭和真空の表面改質装置

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株式会社昭和真空

プラズマクリーナー SPE-2136A

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■φ6インチウエハ2枚同時処理による高スループット 本装置はφ4~φ6インチウエハに対しデスカム・表面改質・アッシング処理が可能です。ま...




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