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セルバックの大気圧プラズマを用いた分子結合接着・接合

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常温接合装置 SATERA-株式会社セルバック

株式会社セルバック

常温接合装置 SATERA

Satera (常温接合装置) は、独自のプラズマ表面活性化技術と高位置精度の組み合わせで、メモリの3次元積層、CMOSイメージセンサ向けに対応した装置です。


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