アイ・アール・システムの温度監視システム

株式会社アイ・アール・システムの温度監視システム1製品が登録されています。 アイ・アール・システムのその他の取扱カテゴリーには、ロックインアンプ赤外線ランプレーザー光源などがあります。

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株式会社アイ・アール・システム

半導体プロセス温度モニター NTM-DeLTA

20人以上が見ています

半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていない為に、温度以外のパラメー...


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