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スパッタリングコンポーネンツジャパンの稼働監視

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スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS

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「EMICON SA-HIPIMS」は、特にHIPIMSプロセスに焦点を置いた「EMICON SA」のアップグレードモデルです。成膜中に、プラズマのスペクトルデータと同時に、パル...


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