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青・白色LED等GaN系デバイスの製造用治具として最適のソリューションを提供します。全て超高純度SiCで構成されたバルク体で、極めて高い...
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高性能で優れたコストパフォーマンスのダミーウェハのご提案です。形状安定性に優れており、耐食性、耐熱性で長期リサイクル使用が可能...
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高導電性を利用して室温から1700℃まで急速昇温が可能で高耐久性と併せて大気中および反応性のガス雰囲気下での加熱に威力を発揮します。
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プロセスチャンバのコンディションを整える際、ヒーターステージを保護するプレート。
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超高純度SiC素材とその接合技術を応用し、Si半導体デバイス製造のほぼ全温度領域をカバーする画期的な基盤加熱ヒーターユニットを実現し...
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光学膜としては、レーザー光導波用SiO2膜形成時に利用できます。保護膜としては、各種機械的用途として利用できます。また、高導電性を...
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耐プラズマ性に優れて、高耐久、長寿命です。同時にパーティクルの低減効果があります。
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弊社の独自技術であるSiC-SiC接合技術によって、エレメントと電極を接合した一体型のヒーターです。電極の長さの分だけ、電気導入部 (金...
MARUWAのシリコンカーバイド8製品中の注目ランキング
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