ユニソクの水素脱離分析装置

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株式会社ユニソク

超高感度熱脱離分析装置 HEMTO-TDS

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微小な基板や薄膜中に含まれる水素の検出を、熱脱離法により行う装置です。水素固溶が少ないBeCuチャンバーを使用するとともに、赤外レーザーを使用し試料基...


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