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■大幅な省レジスト 駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少がほと...
株式会社イワキ
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■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、サックバック (オプシ...
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