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項目別

使用用途

#半導体製造

機能領域

露光

対応サイズ

大型基板

光学方式

投影露光式

サーマプレシジョンのステッパ

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2 点の製品

株式会社サーマプレシジョン

量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)

130人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

■特長 ・L/S=1.4/1.4um量産プロセスに対応 ・650×550mmのフルパネル量産に対応 ・ダイバイダイアライメン&グローバルアライメント方式...


株式会社サーマプレシジョン

半導体後工程・電子部品用 8インチ一括投影露光装置 MRS

70人以上が見ています

特長 ・8インチ以下は「一括露光方式」、12インチor□300mm基板は「ステップ&リピート露光方式」の選択が可能 ・露光エリアが広い為、高...




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