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株式会社サーマプレシジョン
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■特長 ・L/S=1.4/1.4um量産プロセスに対応 ・650×550mmのフルパネル量産に対応 ・ダイバイダイアライメン&グローバルアライメント方式 ・チップファースト...
株式会社サーマプレシジョン
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特長 ・8インチ以下は「一括露光方式」、12インチor□300mm基板は「ステップ&リピート露光方式」の選択が可能 ・露光エリアが広い為、高生産性を実現 ・焦点...