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5 点の製品
株式会社ハーモテック
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■当社開発ロボットハンド KUMADE CUPとは 当社の旋回流特許技術 KUMADE を使ったロボットハンド製品の1つです。ロボットハンド部分がカップ形状になっている...
株式会社ハーモテック
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■ウェハのエッジエクスリージョンをサポート 従来型では薄加工や成膜処理によって反りや撓みが大きいウェハを、非接触搬送することが非常に困難でした。そこ...
株式会社ハーモテック
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ウェハの搬送面をサポート。 ■適用ウェハ例 ・薄ウェハ (Memory,LCD Driver) ・両面処理ウェハ (Power Device) ・バンプ・貫通穴開ウェハ (WLCSP,MEMS) ...
株式会社ハーモテック
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■ウェハの外周をサポート 吸着ハンドと違いウェハ表面に対し非接触でハンドリングが可能なため、パーティクル転写問題等の根本的な問題対策となります。 ■適...
株式会社ハーモテック
最新の閲覧: 1日前
■ウェハのベベルをサポート 低ストレスでありながら、有効エリアも触れずに反転動作も可能です。 ■適用ウェハ例 ・TAIKO ・MEMS ・中間厚のウェハ ■FORK 薄...
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