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株式会社電子技研
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■概要 低価格バッチ処理プラズマ処理装置です。等方性プラズマのため処理サンプルを全方向から処理可能です。50枚までの半導体ウエハ上のレジストアッシング...
株式会社電子技研
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■概要 真空チャンバー，真空ポンプ不要。大気圧下で手軽にプラズマ表面改質を評価できるプラズマ照射ユニットです。材料表面の親水化から医療分野での止血殺...
