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株式会社SCREENフェバックス
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洗浄装置水洗タンク内で発生するバクテリアを短時間で除去。レジスト塗布前洗浄、成膜前洗浄、剥離装置、現像装置で数多く導入しています。Ozone (O3) ・紫外...
