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株式会社エンジニアリング・ラボ
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■商品概要 レジン・ペーストコーターは、半導体業界向けに開発された全自動塗布装置です。 WLはツインエア式ディスペンサーを搭載し、ウェハ上にスパイラル...
株式会社エンジニアリング・ラボ
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■商品概要 レジン・ペーストコーターは、半導体業界向けに開発された全自動塗布装置です。 WLはツインエア式ディスペンサーを搭載し、ウェハ上にスパイラル...
株式会社エンジニアリング・ラボ
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■構造 エア流路内に15～25°の傾斜角度をもつスパイラル構造があり、出口開口部に向けて15～25°の内向き角度の内壁をもつ星型形状孔との組み合わせにより、低...
株式会社エンジニアリング・ラボ
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■構造 エア流路内に15～25°の傾斜角度をもつスパイラル構造があり、出口開口部に向けて15～25°の内向き角度の内壁をもつ星型形状孔との組み合わせにより、低...
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