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加島の工業用ヒーター

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株式会社加島

半導体製造プロセス用ランプヒーター

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半導体製造プロセスでは、ウェハー洗浄液やエッチング液、レジスト剥離液等の薬液が用いられており、これらの薬液は通常、50~150℃の高温...




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