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項目別
移動量 mm
10 - 20 20 - 30 30 - 60 60 - 130質量 kg
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4伸長力 N
10 - 35 35 - 50 50 - 70 70 - 120繰り返し精度 mm
0 - 0.01 0.01 - 0.02 0.02 - 0.04最大軸方向力 Fz N
0 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500駆動方式
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