シグマ光機の1軸ステージ

■概要 M20.32の対物レンズアダプターを取り付け済みのCageフォーカスステージです。 ■ご注意 ・ロッドの取付けを強く締めすぎたり、締...

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■概要 M20.32の対物レンズアダプターを取り付け済みのCageフォーカスステージです。マイクロを使用して光軸方向へ微調することができま...

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■概要 コアユニットのホルダ部品を取り付け、光軸方向に微調整できるステージユニットです。 アルミガイド底面からの光軸高さが30mmのホ...

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半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。 ■詳細 ・試料ごとに微小な回転角度を調整...

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ボールネジとボールガイドを採用した、高精度、耐久性に優れた自動直動ステージです。 ■詳細 ・ボールネジを採用したことで、従来のTSD...

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移動ガイドにベアリングを使用した高精度で安定性の高い自動回転ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来...

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精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度X軸ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従...

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薄型でありながら、移動量を長く確保できます。組合せで使用しても、ステージ高さを最小限に抑えることが可能な薄型自動ステージです。 ...

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当社独自の調整技術により極めて高い平行度を実現したZ軸精密ステージです。 ■詳細 ・LJタイプは、上下板の材質が鉄のプレート (マグネ...

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X軸方向調整用のロングストロークタイプのネジ送りステージです。 ■詳細 ・移動ガイドがリニアベアリング、送りネジが2mmピッチ (LST-1...

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テーブル面サイズφ25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設備...

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テーブル面サイズ25×25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設...

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テーブル面サイズ25×25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設...

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CEに準拠した自動回転ステージ (OSMS-YAWシリーズ) をベースに、新たに「ロータリーエンコーダ付2相ステッピングモータ」を搭載したモデ...

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■特長 CEに準拠した高剛性、自動ステージ (OSMSシリーズ) をベースに、新たに「ロータリーエンコーダ付2相ステッピングモータ」を搭載し...

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ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。 ■詳細 計測、検査、評...

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ステージの昇降構造として、クサビ機構を採用した薄型の水平面Z軸ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造) とボ...

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高剛性、高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。 ■詳細 レールの形状は、U字形...

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高剛性、高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が...

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5相ステッピングモータドライバおよびコントローラを内蔵し、省配線、省スペースで簡単なコマンドにて制御できる自動ステージです。 ■...

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シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性、軽量化を実現しました。 ■詳細 ・位置、アライメン...

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■特長 手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置...

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シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性、軽量化を実現しました。 ■詳細 ・位置、アライメン...

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■特長 手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができる垂直面取付タイプのZ軸ステージです...

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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。 ■詳細 ・ステージ面が長方形で、長い移...

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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。

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■特長 ・ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージです。 ・移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑ら...

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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。 ■詳細 ・ステージ面が長方形で、長い移...

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アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ステージ面が長方形の軽量で高精度な直動ステージです。 ■詳細 ・駆動はネ...

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小型、薄型、高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造、TAMM40は除...

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アリ溝ガイド、ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。 ■詳細 ・テー...

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アリ溝ガイド、ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。

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動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量を確保したい場合に適します。装置組込み等に有効です

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アルミを使用した軽量なアリ式ステージです。アリ溝ガイド、ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要...

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使用頻度が多く素早い動きと大きく移動量が必要な場合に最適なZ軸ラックピニオンステージです。

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アリ溝ガイド、ネジ送り調整方式により、細かな調整用途に適したネジ送りステージです。 ■詳細 送りハンドルは、操作効率を高めます。

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アリ溝ガイド、ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。 ■詳細 ・動作頻度が比較的少ない箇所や細かい調整用...

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突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用Z軸ステージです。 ■詳細 ・動作頻度が...

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水平面方向のマイクロメータを操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。

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スチール製のステージ本体と移動テーブルには、焼入れ処理が施され、直接ガイド加工が施されており、非常に耐久性に優れた直動ステージ...

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マイクロメータヘッドを移動するステージ側に、マイクロあてをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。 ■詳...

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■特長 テコの原理を利用して水平方向のマイクロメータ操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。ガイドのR溝に対し、スチールボール4点...

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ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化したZ軸ステージです。 ■詳細 焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド...

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焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。

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■特長 マイクロメータヘッドを移動するステージ側に、マイクロ当てをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。...

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焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度、高剛性ステンレスステージです。テーブル面サ...

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焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度、高剛性ステンレスステージです。 ■詳細 本体...

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焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度、高剛性ステンレスステージです。 ■詳細 本体...

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本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。

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■特長 スチールステージTSDシリーズと構造、性能が同等で、クリーンルーム、真空用途に適した直線移動ステージです。全てステンレス材を...

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■特長 スチールステージTSDシリーズと構造、性能が同等で、クリーンルーム、真空用途に適した直線移動ステージです。全てステンレス材を...

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■特長 スチールステージTSDシリーズと構造、性能が同等で、クリーンルーム、真空用途に適した直線移動ステージです。全てステンレス材を...

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■特長 当社の手動ステージの中で最薄10mmを実現した高剛性に優れた直動ステージです。従来品 (TSDシリーズ) と比較し、ステージ厚さ40％...

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ジャッキスクリュー方式を使用した、薄型なステージ面の大型ステージです。 ■詳細 ・側面のハンドルを回すことで、ステージ上面が上下...

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