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項目別

使用用途

#半導体検査

#精密計測

#バイオ実験

移動範囲 mm

50 - 250

可搬質量 kg

0 - 1

1 - 5

5 - 10

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1

1 - 2

2 - 4

真直度と平坦度 μm

1 - 2

2 - 3

3 - 4

4 - 5

5 - 10

最大速度 mm/秒

40 - 250

250 - 251

工苑の1軸ステージ

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