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項目別

移動範囲 mm

1 - 10 10 - 50 50 - 250 250 - 1,000

可搬質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50

分解能 μm

0.1 - 1 1 - 10

繰り返し位置決め精度 μm

1 - 2 2 - 4

真直度と平坦度 μm

5 - 10 10 - 30 30 - 31

最大速度 mm/秒

1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 40 40 - 250
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