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タツモのアッシング装置

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5 点の製品

タツモ株式会社

半導体製造装置 洗浄装置 枚葉式エッチング・ 洗浄システム CENOTE ®

120人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

枚葉式洗浄システムCENOTE ®は、マルチカップ方式を採用した多機能枚葉式洗浄装置です。クリーンな液体をウェハ表面に連続供給すると同時に、薬液の種類、混...


タツモ株式会社

半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR

130人以上が見ています

最新の閲覧: 14時間前

バッチ式洗浄装置TIGRIS®200及びTIGRIS®300は、200mm/300mm対応型の高機能浸漬洗浄エッチングシステムで、業界標準仕様に所有技術を付加しました。各種モニタ...


タツモ株式会社

半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置

150人以上が見ています

最新の閲覧: 18分前

熱硬化型/可塑型材料で貼合されたデバイスの支持体を剥離する装置です。機械剥離後、残渣洗浄まで自動で行います。テープフレームでハンドリングするため、デ...


タツモ株式会社

半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWSシリーズ 塗布貼合装置

190人以上が見ています

最新の閲覧: 17分前

高度な3次元実装、デバイス薄化の脆弱性対策等を目的としたウェーハの極薄化を支援し、半導体パッケージングの更なる小型化、省 エネを進めるために開発/設計...


タツモ株式会社

半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM

100人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

バッチ浸漬式洗浄モジュールと枚葉式洗浄モジュールを複合させたユニークな装置構成と なっており、フォトレジストやフィルムの剥離処理に適した洗浄装置です...


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